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制造光刻机有什么技术难题

作者:苗孜娇发布时间:2021-04-24 10:17:38

光刻机是生产集成电路的主要设备,其技术水平决定了集成电路的集成度,也是街道 "筑颈 "技术领域的技术瓶颈。芯片制造过程可分为三个阶段:设计、制造和封测,而在生产中遇到的最大困难。制造芯片需要数百道工序,其中需要用到几十种规则。很难想象这项工作有多困难。最重要的是,这是一个长期积累的技术和经验,但遗憾的是,我们在这个领域的经验很少。

导电集成电路器件是半导体产品的关键金属部件,它是由冲压和蚀刻制成的。其中,冲压是目前的主要工艺。集成电路布线模子也是最精确的精密级,代表模子,它不断小型化,具有很高的开发精度。

在制造芯片的过程中,光刻机等必要设备是最重要的设备。但是,由于当时我们的实力有限,无法研究和购买这些设备,这就导致了一个根本性的问题,即关键设备无法解决,我们的芯片制造将处于停滞状态。

光刻机的原理有点像照光刻机的照片,主要是通过曝光在硅片上做出一些精美的图形。别看它的原理简单,但要生产和制造出具有高质量的芯片、专有技术和必要部件的光刻机是非常困难的。另外,目前拥有芯片技术的发达国家大多是西方国家,而西方国家与中国的技术交流不够。自然,这种先进的技术并不希望中国知道或出售。目前,国外摄像机的领先技术是荷兰的AMSL。

IC线框模具不仅要有高的模具设计技术,还要有高精度的加工设备才能胜任。模子尺寸公差为1μ m,粗糙面要求在Ra 0.2μ m以下,在慢速切削机上进行基本测试和研磨。

光刻机生产的最大特点是研发周期长,贡献大,回报短。更重要的是,芯片这种东西,与其让你投入太多,不如让你回报。建国后,国家更注重加强国家的综合实力,而不是在这些极其困难的领域浪费时间。当我们所有的成就都相对成熟的时候,美国的禁令来了,这让我们注意到了我们现在的这些领域。

制造芯片需要的光刻机,中国自己制造光刻机有些什么难题?由于美国的技术封锁,中国在培养高素质摄影人才方面遇到了很大的困难。虽然世界上许多国家/地区拥有先进的芯片技术,但大多数国家不愿意与中国就相关问题进行沟通。此外,他们甚至完全禁止向中国出售包括ASML机器在内的现代芯片,这使得我们的芯片技术和光刻机生产不是很先进。

光刻机的芯片制造技术是纳米级的。荷兰最现代化的光刻机EUV重达180吨,内部零件超过10万个,要运40个集装箱。5纳米的EUV光刻机的工作原理只相当于1万个粗略的灯,而且芯片上 "刻 "有电路。最后,要使一个指甲盖大小的晶体包含数亿个晶体管是非常复杂的。

前路仍需双脚走,中国在高端光刻机方面确实与国外的先进水平有太多的差距,我们确实要加大科研力度,力求早点突破光刻机难题!

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